无锡邑文微电子获得一种半导体蚀刻设备的匀气设备专利

  金融界2024年10月19日音讯，国家知识产权局信息数据显现，无锡邑文微电子科技股份有限公司获得一项名为“一种半导体蚀刻设备的匀气设备”的专利，授权公告号 CN 118553648 B，请求日期为 2024 年 7 月。

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